薄膜材料科学 pdf是一本由奥林著刘卫国译的工业技术类专业图书,涵盖了材料科学的基础理论、化学气相沉积、薄膜结构等丰富知识,语言流畅用词精准,有需要者欢迎在绿色资源网下载!
薄膜材料科学作者介绍奥林,Milton Ohring, 生于1936年,美国史第文斯理工学院材料工程学系教授,在此职位上工作37年期间,一直活跃在讲台。同时,作者还是材料科学、薄膜技术、微电子学等领域的资深研究专家。
薄膜材料科学电子书介绍《薄膜材料科学(第2版)》详细介绍了涉及薄膜材料科学的各个方面,内容包括真空技术、薄膜沉积技术与原子过程、薄膜的结构与性能表征等。《薄膜材料科学(第2版)》内容广泛,资料全面,各章后面附有习题,是一本真正意义上的薄膜科学与技术的教科书。非常适用于从事薄膜材料研究的专业研究人员、材料类院系高年级本科生和研究生作教材或参考书。
薄膜材料科学目录第1章 材料科学基础
第2章 真空科学与技术
第3章 薄膜热蒸发过程
第4章 放电、等离子体、离子与表面的相互作用
第5章 薄膜制备的等离子体与离子束工艺
第6章 化学气相沉积
第7章 基底表面与薄膜成核
第8章 外延生长
第9章 薄膜结构
第10章 薄膜及表面的特性
第11章 薄膜内的互扩散、反应和相变
第12章 薄膜的力学性能
习题
附录
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